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等离子处理机真空腔体维护保养方法
来源:   发布时间:2018-10-24   点击量:343

等离子处理机真空腔体维护保养方法

文章导读:在使用等离子处理机方面,经过等离子清洗产品一段时间,真空腔体壁上和电极板上会残留部分污垢,现将一些方法清洁维护保养,仅供参考。

等离子处理机真空腔体维护保养方法

在开始进行任何保养或维修前,应采取所有的相关安全防范措施。

1、 将设备电源开关关闭,断开总电源保护器。

2、 关闭所有气体。

3、 准备所需工具箱。

4、真空腔体及真空发生系统的保养

(1)真空腔是处理工件的工作区,当使用到一定时间后腔体内会残留部分污垢,附着在电极板及腔体壁上。


处理方法:当连续使用一定时间后,应用无尘布(纸)沾酒精清洁所有电极板及腔体壁,保持腔体清洁。

(2)观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用,在使用腐蚀气体后会造成观察窗玻璃的表面微蚀,使其变得模糊不清。

处理方法:用无尘布(纸)沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁即可。

上述为等离子处理机维护保养方法举列,如有问题请致电昆山奥坤鑫客服部,欢迎您留言与我们交流和分享。

亲,如果您对等离子处理机感兴趣或者想了解更多详细信息,欢迎点击奥坤鑫的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线,奥坤鑫恭候您的来电!

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