深圳市奥坤鑫科技有限公司

深圳市奥坤鑫科技有限公司

10年专注等离子处理设备|提供全方位解决方案

阿里店铺
联系电话:

0755-81452366

联系方式
全国服务热线:13612999216

电话:0755-81452366

电话:13612999216

传真:0755-81493996

地址:深圳市宝安区沙井街道大王山工业一路信隆科技园6层

历史记录
奥坤鑫浅谈等离子体的种类
来源:   发布时间:2018-11-09   点击量:106

奥坤鑫浅谈等离子体的种类

(1)低温和高温可分为高温等离子体和低温等离子体两类,在等离子体中,不同微粒的温度实际上是不同的,所具有的温度是与微粒的动能即运动速度质量有关,把等离子体中存在的离子的温度用Ti表示,电子的温度用Te表示,而原子、分子或原子团等中性粒子的温度用Tn表示,对于Te大大高于Ti和Tn的场合,即低压体气的场合,此时气体的压力只有几百个帕斯卡,当采用直流电压或高频电压做电场时,由于电子本身的质量很小,在电池中容易得到加快,从而可获得平均可达数电子伏特的高能量,对于电子,此能量的对应温度为几万度(K),而弟子由于质量较大,很难被电场加速,因此温度仅几千度。

奥坤鑫浅谈等离子体的种类

由于气体粒子温度较低(具有低温特性),因此把这种等离子体称为低温等离子体。当气体处于高压状态并从外界获得大量能量时,粒子之间的相互碰撞频率大大增加,各种微粒的温度基本相同,即Te基本与Ti及Tn相同,我们把这种条件下得到的等离子体称为高温等离子体,太阳就是自己界中的高温等离子体。


由于高温等离子体对物体表面的作用过于强强烈,因此在实际应用中很少使用,目前投入使用的只有低温等离子体,因为在本文中将低温等离子体简称为等离子体,希望不会引起读者误解。

(2)活泼气体和不活泼气体等离子体,根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同,可分为不活泼气体等离子体和活泼气体等离子体两类,不活泼气体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等,活泼气体如氧气(O2)、氢气(H2)等,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性,这将在后面结合具体应用实例介绍。

热门标签:等离子
联系人:于先生电话:0755-81452366电话:13612999216地址:深圳市宝安区沙井街道大王山工业一路信隆科技园6层
Copyrights©2018 深圳市奥坤鑫科技有限公司 All Rights Reserved 备案号:粤ICP备12071816号

官网二维码 官网二维码