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小型真空等离子处理机PR-PM40L
  • 小型真空等离子处理机PR-PM40L

产品名称:小型真空等离子处理机PR40L

机台整机规格:PR40L:750(W)×1500(H)×950(D)mm

真空室规格:PR40L: 进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm

电极板规格:PR40L:7层平板式电极板(330(W)×315(D)mm)

控制系统:触摸屏+PLC控制

真空测定系统:皮拉尼真空计

气体计量系统:精确质量流量控制计 MFC

气体路数:2路进气、1路放空

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等离子发生器:0-500W等离子体发生源,40KHz(可选13.56MHz)

工作气体:2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持

用 途:适摄像头及指纹识别行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。

1、摄像头、指纹识别行业:软硬结合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清洁。

2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗

3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化 。

4、高性能等离子发生器,激发更为稳定之等离子体。

热门标签:真空等离子处理机
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