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真空等离子机PCB用水平设备PM17A
  • 真空等离子机PCB用水平设备PM17A

产品名称:PCB-水平设备PM17A

机台整机规格:PM17A,2000(W)×1500(D)×1960(H)mm

真空室规格: PM17A, 1030(W)×1100(D)×1100(H) mm

电极板规格:PM17A,17层平板电极(944(W)×790(D)mm)

控制系统:触摸屏+PLC控制

真空测定系统:0-10 Torr美国MKS电容式薄膜规真空计

气体计量系统:精确质量流量控制计 MFC

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气体路数:5路进气、1路放空

等离子发生器:10KW等离子体发生源,40KHz(可选13.56MHz)

工作气体:5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持

用 途:适用于印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。

1、印制线路板行业:高频板表面活化,多层板表面清洁、去钻污;软板、软硬结合板表面清洁、去钻污;软板补强前活化。化学沉金/化学镀金前后焊盘表面清洁。

2、高性能等离子发生器,激发更为稳定之等离子体;

3、特殊电极结构,更适合宽幅双面材料进行等离子体表面处理;

4、 采用中通水冷电极,真正实现过程温度控制,均衡均一;

5、 具备上下料车,取代人工上下材料,上下卷更加方便;

6、 变频节能,通过真空制自动调节变频器频率,自动调节真空泵转速维持真空度。

热门标签:真空等离子机
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